隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn),部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng),占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品,中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要,但需清醒的看到,從核心競(jìng)爭(zhēng)力,質(zhì)量管理,品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō),我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。特種氣體是電子工業(yè),特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個(gè)必然方向,這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿足純度的要求。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐源材料。






特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對(duì)氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎(chǔ)化工材料,特種氣體隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,應(yīng)用范圍越來(lái)越廣泛。隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn),部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng),占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品,中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要,但需清醒的看到,從核心競(jìng)爭(zhēng)力,質(zhì)量管理,品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō),我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷(xiāo)量大,但對(duì)純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷(xiāo)量雖小,但根據(jù)不同的用途。

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過(guò)流開(kāi)關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。目前,國(guó)內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家,多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國(guó)企業(yè)已經(jīng)在國(guó)內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司,占國(guó)內(nèi)銷(xiāo)售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。

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